Hyppää sisältöön
    • Suomeksi
    • In English
  • Suomeksi
  • In English
  • Kirjaudu
Näytä aineisto 
  •   Etusivu
  • 1. Kirjat ja opinnäytteet
  • Pro gradu -tutkielmat ja diplomityöt sekä syventävien opintojen opinnäytetyöt (kokotekstit)
  • Näytä aineisto
  •   Etusivu
  • 1. Kirjat ja opinnäytteet
  • Pro gradu -tutkielmat ja diplomityöt sekä syventävien opintojen opinnäytetyöt (kokotekstit)
  • Näytä aineisto
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Amorfiset piikalvot : valmistus, karakterisointi ja ominaisuuksien muokkaus

Miettinen, Mikko (2021-05-27)

Amorfiset piikalvot : valmistus, karakterisointi ja ominaisuuksien muokkaus

Miettinen, Mikko
(27.05.2021)
Katso/Avaa
Miettinen_Mikko_opinnayte.pdf (8.165Mb)
Lataukset: 

Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.
avoin
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on:
https://urn.fi/URN:NBN:fi-fe2021060132620
Tiivistelmä
Puolijohteet muodostavat koko nykypäivänä tunnetun elektroniikan perustan. Puolijohdemateriaaleista käytetyin materiaali on pii, ja siitä valmistetaan esimerkiksi transistoreja ja aurinkokennoja. Tehokkaimmat piitä käyttävät laitteet ja sovellukset käyttävät kiteistä piitä. Ominaisuuksiltaan se soveltuisi kaikkiin piitä käyttäviin sovelluksiin, mutta joidenkin kohdalla valmistus olisi erittäin hankalaa tai mahdotonta. Tämän vuoksi piiteknologiaa kehitettään jatkuvasti mm. tutkimalla piin eri kiderakennemuotojen, eli monikiteisen ja amorfisen piin käyttöä sovelluksissa. Amorfista piitä käyttämällä on mahdollista laskea valmistuskustannuksia, kuten aurinkokennoissa, tai valmistaa laitteita, joita ei olisi kiteisestä piistä mahdollista valmistaa, kuten ohutkalvotransistoreja.

Jotta materiaalia on kuitenkin mahdollista käyttää sovelluksissa tehokkaasti, on sen ominaisuudet tunnettava hyvin. Amorfisen piin sähköiset ominaisuudet eroavat kiteisestä piistä selvästi olemalla tyypillisesti heikommat kaikilla mittareilla. Niitä on kuitenkin mahdollista parantaa esimerkiksi vetykäsittelemällä, jolloin amorfisuudesta johtuvat virheet passivoituvat, aiheuttaen vähemmän sähköisiä vikatiloja.

Tässä tutkielmassa valmistettiin amorfisia piikalvoja höyrystämällä piitä tyhjiössä. Kalvojen resistiivisyydet määritettiin nelipistemittauksella, ja mittaukset toistettiin useasti kalvojen valmistuksen jälkeen, jotta resistiivisyyden mahdolliset muutokset valolle ja ilmalle altistumisen vuoksi oli mahdollista havaita. Kalvojen resistiivisyydet osoittautuivat stabiileiksi. Kahta valmistetuista näytteistä vety- ja lämpökäsiteltiin höyrystämisen jälkeen vedyn vaikutuksen tutkimiseksi. Käsittelyt kasvattivat resistiivisyyttä, ja työssä käydään läpi mahdollisia syitä tälle havainnolle. Mahdollisia tekijöitä ovat piristysatomien passivoituminen, kalvon hapettuminen sekä hallitsevan johtumismekanismin vaihtuminen.
Kokoelmat
  • Pro gradu -tutkielmat ja diplomityöt sekä syventävien opintojen opinnäytetyöt (kokotekstit) [9082]

Turun yliopiston kirjasto | Turun yliopisto
julkaisut@utu.fi | Tietosuoja | Saavutettavuusseloste
 

 

Tämä kokoelma

JulkaisuajatTekijätNimekkeetAsiasanatTiedekuntaLaitosOppiaineYhteisöt ja kokoelmat

Omat tiedot

Kirjaudu sisäänRekisteröidy

Turun yliopiston kirjasto | Turun yliopisto
julkaisut@utu.fi | Tietosuoja | Saavutettavuusseloste