Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing

Mikko Laitinen; Pekka Laukkanen; Sari Granroth; Marko P.J. Punkkinen; Jaakko Mäkelä; Ville Polojärvi; Muhammad Yasir; Mikhail Kuzmin; Roberto Félix; Risto Punkkinen; Antti Tukiainen; Mircea Guina; Jari Lyytikäinen; Juha-Pekka Lehtiö; Marjukka Tuominen; Kalevi Kokko; Hannu-Pekka Hedman; Johnny Dahl
Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing

Mikko Laitinen
Pekka Laukkanen
Sari Granroth
Marko P.J. Punkkinen
Jaakko Mäkelä
Ville Polojärvi
Muhammad Yasir
Mikhail Kuzmin
Roberto Félix
Risto Punkkinen
Antti Tukiainen
Mircea Guina
Jari Lyytikäinen
Juha-Pekka Lehtiö
Marjukka Tuominen
Kalevi Kokko
Hannu-Pekka Hedman
Johnny Dahl
Katso/Avaa
Lataukset: 

American Chemical Society
doi:10.1021/acsami.8b17843
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on:
https://urn.fi/URN:NBN:fi-fe2021042612620
Kokoelmat