Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing

Marjukka Tuominen; Jaakko Mäkelä; Muhammad Yasir; Johnny Dahl; Sari Granroth; Juha-Pekka Lehtiö; Roberto Félix; Pekka Laukkanen; Mikhail Kuzmin; Mikko Laitinen; Marko P.J. Punkkinen; Hannu-Pekka Hedman; Risto Punkkinen; Ville Polojärvi; Jari Lyytikäinen; Antti Tukiainen; Mircea Guina; Kalevi Kokko
Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing

Marjukka Tuominen
Jaakko Mäkelä
Muhammad Yasir
Johnny Dahl
Sari Granroth
Juha-Pekka Lehtiö
Roberto Félix
Pekka Laukkanen
Mikhail Kuzmin
Mikko Laitinen
Marko P.J. Punkkinen
Hannu-Pekka Hedman
Risto Punkkinen
Ville Polojärvi
Jari Lyytikäinen
Antti Tukiainen
Mircea Guina
Kalevi Kokko
Katso/Avaa
Lataukset: 

American Chemical Society
doi:10.1021/acsami.8b17843
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on:
https://urn.fi/URN:NBN:fi-fe2021042612620
Kokoelmat