Hyppää sisältöön
    • Suomeksi
    • In English
  • Suomeksi
  • In English
  • Kirjaudu
Näytä aineisto 
  •   Etusivu
  • 1. Kirjat ja opinnäytteet
  • Kandidaatin tutkielmat (kokotekstit)
  • Näytä aineisto
  •   Etusivu
  • 1. Kirjat ja opinnäytteet
  • Kandidaatin tutkielmat (kokotekstit)
  • Näytä aineisto
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Plasmapuhdistus

Kupiainen, Oiva (2025-04-14)

Plasmapuhdistus

Kupiainen, Oiva
(14.04.2025)
Katso/Avaa
Kupiainen_Oiva_opinnayte.pdf (1.304Mb)
Lataukset: 

Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.
avoin
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on:
https://urn.fi/URN:NBN:fi-fe2025041728693
Tiivistelmä
Plasmapuhdistus on erilaisten pintojen puhdistukseen käytettävä menetelmä, joka perustuu plasman hiukkasten vuorovaikutukseen puhdistettavan pinnan kanssa. Tämän tutkielman tarkoituksena on antaa yleiskuva plasmapuhdistuksesta pintapuhdistusmenetelmänä ja kertoa joistakin sen sovelluksista eri aloilla. Tutkielmassa edetään plasman määritelmästä ja karakterisoinnista sen käyttöön puhdistusmenetelmänä. Tarkastelussa esitellään plasman keskeiset vaikutusmekanismit ja tuottomenetelmät. Lisäksi kuvataan plasmapuhdistuksen sovelluksia esimerkkien avulla ja arvioidaan menetelmän etuja sekä rajoitteita.
Kokoelmat
  • Kandidaatin tutkielmat (kokotekstit) [1760]

Turun yliopiston kirjasto | Turun yliopisto
julkaisut@utu.fi | Tietosuoja | Saavutettavuusseloste
 

 

Tämä kokoelma

JulkaisuajatTekijätNimekkeetAsiasanatTiedekuntaLaitosOppiaineYhteisöt ja kokoelmat

Omat tiedot

Kirjaudu sisäänRekisteröidy

Turun yliopiston kirjasto | Turun yliopisto
julkaisut@utu.fi | Tietosuoja | Saavutettavuusseloste