Puolijohteen pintojen puhdistus laserilla
avoin
Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.
Lataukset94
Pysyvä osoite
Verkkojulkaisu
DOI
Tiivistelmä
Tutkielmassa tarkastellaan puolijohteiden pintojen puhdistusta ja syvennytään niiden puhdistukseen laservalon avulla. Ensin luodaan yleiskatsaus pintojen puhdistuksesta. Laserpuhdistuksen eri alalajit esitellään ja avataan niiden vahvuuksia ja heikkouksia. Sen jälkeen tarkastellaan laserpuhdistuksen mekanismeja. Menetelmää verrataan myös yleisempiin pintojen puhdistustapoihin. Tutkielmassa myös esitellään, millainen puhtaan puolijohteen pinnan pitäisi olla.