Puolijohteen pintojen puhdistus laserilla

Tietueen suppeat tiedot
dc.contributor.authorKukonlehto, Taneli
dc.contributor.departmentfi=Fysiikan ja tähtitieteen laitos|en=Department of Physics and Astronomy|
dc.contributor.facultyfi=Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta|en=Faculty of Science|
dc.contributor.studysubjectfi=Fysikaaliset tieteet|en=Physical Sciences|
dc.date.accessioned2025-02-03T22:30:20Z
dc.date.available2025-02-03T22:30:20Z
dc.date.issued2025-01-24
dc.description.abstractTutkielmassa tarkastellaan puolijohteiden pintojen puhdistusta ja syvennytään niiden puhdistukseen laservalon avulla. Ensin luodaan yleiskatsaus pintojen puhdistuksesta. Laserpuhdistuksen eri alalajit esitellään ja avataan niiden vahvuuksia ja heikkouksia. Sen jälkeen tarkastellaan laserpuhdistuksen mekanismeja. Menetelmää verrataan myös yleisempiin pintojen puhdistustapoihin. Tutkielmassa myös esitellään, millainen puhtaan puolijohteen pinnan pitäisi olla.
dc.format.extent16
dc.identifier.olddbid196887
dc.identifier.oldhandle10024/179929
dc.identifier.urihttps://www.utupub.fi/handle/11111/2216
dc.identifier.urnURN:NBN:fi-fe202502038906
dc.language.isofin
dc.rightsfi=Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.|en=This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.|
dc.rights.accessrightsavoin
dc.source.identifierhttps://www.utupub.fi/handle/10024/179929
dc.subjectpuolijohde, pintojen puhdistus, kemiallinen etsaus, laservalotus
dc.titlePuolijohteen pintojen puhdistus laserilla
dc.type.ontasotfi=Kandidaatintutkielma|en=Bachelor's thesis|

Tiedostot

Näytetään 1 - 1 / 1
Name:
Kukonlehto_Taneli_opinn%C3%A4ytety%C3%B6.pdf
Size:
1.6 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Lataa

Kokoelmat

Kandidaatin tutkielmat (kokotekstit)