Puolijohteen pintojen puhdistus laserilla

Abstract

Tutkielmassa tarkastellaan puolijohteiden pintojen puhdistusta ja syvennytään niiden puhdistukseen laservalon avulla. Ensin luodaan yleiskatsaus pintojen puhdistuksesta. Laserpuhdistuksen eri alalajit esitellään ja avataan niiden vahvuuksia ja heikkouksia. Sen jälkeen tarkastellaan laserpuhdistuksen mekanismeja. Menetelmää verrataan myös yleisempiin pintojen puhdistustapoihin. Tutkielmassa myös esitellään, millainen puhtaan puolijohteen pinnan pitäisi olla.